Разумевање вакуумске технологије: од дефиниције до класификационих стандарда
1. природа вакуума
Супротно популарном веровању, вакуум није "празан простор". Уместо тога, односи се на гасовити стање ниског притиска у којем је притисак испод атмосферског нивоа. Чак и у ултра-високим вакуумским условима (нпр. 10 м² ПА), стотине молекула гаса и даље заузимају сваки кубни центиметар простора. Значај вакуума лежи у два кључна својства:
Смањени молекуларни судари
У високим вакуумским окружењима, молекули гаса се раскидују даље даље, драматично снижавају фреквенције судара. Ово ствара идеално окружење за прецизна производна и научна експеримента. На пример, акцелератори честица се ослањају на минимизирану молекуларну сметњу како би се одржали стабилне греде честица.
Елиминација контаминације
Услови за вакуум спречавају оксидацију, адсорпцију и друге површинске реакције. На пример, полуводичка производња за производњу ултра-чистим окружењима како би се избегле нечистоће које би могле да деградирају наступ микрочипа.
2 Вакуум класификација и мерење
а. Класификација према распону притиска
Нивои вакуума категорисани су на основу распона притиска, свака прилагођена одређеним апликацијама:
| Ниво усисавања | Распон притиска (ПА) | Типичне апликације |
|---|---|---|
| Низак вакуум | 10⁵ ~ 10² | Вакуумске усисне чаше, паковање хране |
| Средњи вакуум | 10² ~ 10⁻¹ | Танки филмски премаз, лигхтбулб продукција |
| Висок вакуум | 10⁻¹ ~ 10⁻⁶ | Електронска микроскопија, акцелератори честица |
| Ултра-висок вакуум | <10⁻⁶ | Симулација простора, истраживање нуклеарног фузије |
б. Мерне јединице
Вакуумски притисак се квантификује уПасцалс (ПА)илитор(1 ТОРР ≈ 133.322 ПА). Ове јединице помажу стандардизирати мерења широм индустрије и истраживачких поља.